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真空蒸发镀工艺程序和操作要点

关键词 真空 , 蒸发镀|2011-06-28 15:59:22|制造技术|来源 中国磨料磨具网
摘要 基体(磨料),蒸发器(坩埚),真空室(钟罩和铝箔或铝板制成的内钟罩)的镀前清洁处理与安装准备→抽真空→真空净化处理(磨料和真空容器内表面,用真空加热法或电子束,离子束轰击法净化处理...
  基体(磨料),蒸发器(坩埚),真空室(钟罩和铝箔或铝板制成的内钟罩)的镀前清洁处理与安装准备→抽真空→真空净化处理(磨料和真空容器内表面,用真空加热法或电子束,离子束轰击法净化处理,方法与处理聚晶用的金刚石相同)→蒸发材料的预熔(除去吸附的气体和低熔点杂质)→蒸镀→停机取料。
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真空蒸发镀是将真空容器内放置的蒸发物质加热蒸发,并使蒸发的粒子凝固在被镀基体表面上而形成薄膜的方法。真空蒸发镀也称为真空蒸镀、真空热蒸发镀、真空蒸发镀膜等,它是最早出现的真空镀膜方法。

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