摘要 1.真空(条件)真空蒸镀是以真空技术为基础的一种表面处理方法,必须在一定的真空条件下进行。2.材料(对象)成膜材料一般是金属或合金。膜的基体(镀件)既可以是金属,也可以是非金属。基...
1.真空(条件) 真空蒸镀是以真空技术为基础的一种表面处理方法,必须在一定的真空条件下进行。 2.材料(对象) 成膜材料一般是金属或合金。膜的基体(镀件)既可以是金属,也可以是非金属。基体形状可以是片状,粉粒状等各种形状。
3.蒸发(手段) 成膜材料加热蒸发,使之汽化。汽化粒子可以是分子,原子,原子团。加热方式有多种,例如电阻加热法,高频感应法,电子束法(E形电子枪法),离子束法,激光束法等。
4.成膜(目的) 蒸发汽化的粒子在基体表面上镀覆(附着,粘附,凝聚,凝固,沉积,冷凝,凝结),形成符合要求的镀层(薄膜)。