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真空蒸发镀工艺程序和操作要点

关键词 真空蒸发镀|2011-06-29 15:49:28|制造技术|来源 中国磨料磨具网
摘要 基体(磨料),蒸发器(坩埚),真空室(钟罩和铝箔或铝板制成的内钟罩)的镀前清洁处理与安装准备→抽真空→真空净化处理(磨料和真空容器内表面,用真空加热法或电子束,离子束轰击法净化处理...
  基体(磨料),蒸发器(坩埚),真空室(钟罩和铝箔或铝板制成的内钟罩)的镀前清洁处理与安装准备→抽真空→真空净化处理(磨料和真空容器内表面,用真空加热法或电子束,离子束轰击法净化处理,方法与处理聚晶用的金刚石相同)→蒸发材料的预熔(除去吸附的气体和低熔点杂质)→蒸镀→停机取料。
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