摘要 在一定的真空状态下,将从蒸发源蒸发的粒子部分地离子化,并和其余的中性粒子一起沉积在基体上而形成镀层的技术,称为真空离子镀,简称离子镀。也可称为真空离子蒸镀。
在一定的真空状态下,将从蒸发源蒸发的粒子部分地离子化,并和其余的中性粒子一起沉积在基体上而形成镀层的技术,称为真空离子镀,简称离子镀。也可称为真空离子蒸镀。
1.在一定的真空条件下进行。2.成膜材料蒸发。可以采用真空蒸镀相同的蒸发方法,还可以采用空心阴极型电子束法和真空电弧法。3.蒸发的成膜材料部分电离。电离方式,可以利用惰性气体等离子体(例如直流辉光放电法,空心阴极法)...
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