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真空溅射镀定义

关键词真空溅射镀|2011-06-28 16:02:30|基础知识|来源中国磨料磨具网

摘要高能离子或中性原子碰撞物体表面，使表面的原子或原子脱离物体的现象，称为溅射或喷溅。由低压气体放电产生的正离子碰撞阴极表面而发生的溅射，称为阴极溅射。利用磁控管进行的阴极溅射，称为磁...

　　高能离子或中性原子碰撞物体表面，使表面的原子或原子脱离物体的现象，称为溅射或喷溅。由低压气体放电产生的正离子碰撞阴极表面而发生的溅射，称为阴极溅射。利用磁控管进行的阴极溅射，称为磁控阴极溅射，简称磁控溅射。利用上述溅射方式进行的真空镀膜方法，相应地称为溅镀、阴极溅镀、磁控阴极溅镀或磁控溅镀。

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