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离子化方式

关键词离子化|2011-06-29 14:07:47|基础知识|来源中国磨料磨具网

摘要自从直流电离子镀出现以来，随着电真空技术的发展，新的离子镀方法和设备不断出现，按照离子化方式分类，离子镀方法有直流放电法、高频放电法、空心阴极型电子束法、热电子活化法、多阴极活化法...

　　自从直流电离子镀出现以来，随着电真空技术的发展，新的离子镀方法和设备不断出现，按照离子化方式分类，离子镀方法有直流放电法、高频放电法、空心阴极型电子束法、热电子活化法、多阴极活化法、络离子束法、活性反应法、真空电弧法等。
　　除一般离子镀外，还有一种特殊的离子镀法——活性反应离子镀。该法实质上不属于PVD法，而是等离子CVD法，可以通过活化反应制取TIC、TIN等硬质化合物膜层，还可以制取金刚石或立方氮化硼薄膜。后者属于制造超硬材料的一种新方法——气相薄膜生长法。
　　

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