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离子化蒸镀法

关键词离子化蒸镀法|2011-06-21 14:55:25|制造技术|来源中国磨料磨具网

摘要此方法是利用等离子体中的粒子进行成膜。首先把硼的靶源用电子束照射蒸发，同时使氮气通过热钨灯丝使其分解，蒸发的硼原子和热解的氮原子由于受到电子的照射，一部分离子化，在基板偏压的作用下...

　　此方法是利用等离子体中的粒子进行成膜。首先把硼的靶源用电子束照射蒸发，同时使氮气通过热钨灯丝使其分解，蒸发的硼原子和热解的氮原子由于受到电子的照射，一部分离子化，在基板偏压的作用下，这些粒子和离子加速，在基板上形成立方氮化硼薄膜。

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