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　　冷等静压压制的坯体具有强度大，密度高而均匀，可实现坯体的近净尺寸成型等优点，而反应烧结氮化硅陶瓷又具有烧结前后尺寸不变的特点。因此，将硅粉先经冷等静压成型，再进行反应烧结，就可以使氮化硅陶瓷制品少加工或免加工，最终降低陶瓷的生产成本。在冷等静压成型过程中，要实现坯体的近净尺寸成型，就要力求粉料的填充密度高而均匀，以便粉料压制时压缩均匀且压缩比尽可能小，使压坯尺寸容易控制。
　　在等大球的紧密堆积模型中，球间空隙率最小。实际粉料往往是非球形的，自由堆积时会产生拱桥现象，导致粉料颗粒间的空隙率增加，而振动可以使颗粒产生位移，重排，有利于粉料的填充，降低颗粒间的空隙率。在振动装料过程中，粉料颗粒由于振动而获得相当大的交变速度和加速度，使静止的粉料颗粒产生相当大的惯性力，在这种惯性力的作用下，粉料颗粒间发生相对位移，破坏了拱桥现象，颗粒进行重排，被粉料包覆的空气从颗粒运动所形成的通道中不断排出，颗粒间的空隙逐渐减少，最终使粉料的填充密度高而均匀。竖直主向的周期性振动也可能使粉料颗粒产生分层，导致粉料填充不均匀，前人已对其机理作了大量研究，本工作以硅粉造粒后的粉料为对象，研究了振动频率和振动时间对粉料填充密度的影响，为硅粉装料工艺参数的确定提供了理论依据，并确定出最佳的工艺参数。