摘要:本发明涉及一种回收金刚石线锯切割硅片废料浆中多晶硅的方法。主要包括以下步骤:将废料浆进行固液分离;在固体物中加入混合酸,反应10~12小时后脱酸,清洗至中性;以纯水造浆后用旋流器分离出大部分金刚石,压滤后得到含量为99%的硅料,再将其分散在重液中,离心分离后用纯水反复清洗;将清洗后的料浆通过大孔离子交换树脂装置去除离子,干燥得到99.99%的硅粉;硅粉压制成块后在多晶硅铸锭炉中铸锭,切除杂质,得到纯度为99.9999%的硅锭。本发明不同于传统多晶硅制备及回收技术,工艺简单、成本低廉,易于工业化生产。
申请人: 河南新大新材料股份有限公司
地址: 475000 河南省开封市禹王台区开封市精细化工园区
发明(设计)人: 罗小军 宋贺臣 姜维海 郝玉辉
主分类号: C01B33/037(2006.01)I
分类号: C01B33/037(2006.01)I