摘要 炉料中含微量氧化铁能促进碳化硅晶体长大,并能少量提高炉产量,含量达1.5%时产量最大。但铁含量愈高,碳化硅加工成品率愈下降,并使制成的磨具发红,产生铁斑废品。因此,从经济观点出发,...
炉料中含微量氧化铁能促进碳化硅晶体长大,并能少量提高炉产量,含量达1.5%时产量最大。但铁含量愈高,碳化硅加工成品率愈下降,并使制成的磨具发红,产生铁斑废品。因此,从经济观点出发,希望炉料中含铁愈少愈好。 铁的存在不影响绿碳化硅的颜色,即使在结晶筒外层已经发红,碳化硅晶体本身也能保持原有绿色。