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碳化硅晶片的化学机械抛光技术

碳化硅晶片的化学机械抛光技术
碳化硅晶片的化学机械抛光技术
碳化硅晶片的化学机械抛光技术

碳化硅(SiC)材料具有尺寸稳定性好、弹性模量大、比刚度大、导热性能好和耐腐蚀等性能,在现代工业领域应用广泛:在半导体领域,利用其具有禁带宽度、击穿场强高和导热性良好等...

日期 2024-01-25   
碳化硅晶片的超精密抛光工艺

碳化硅晶片的超精密抛光工艺

摘要使用化学机械抛光(CMP)方法对碳化硅晶片进行了超精密抛光试验,探究了滴液速率、抛光头转速、抛光压力、抛光时...

日期 2023-05-30   

一种碳化硅晶片斜面磨削、研磨和抛光机及其操作方法

申请号:201410750011.1申请日:2014.12.10国家/省市:中国江苏(32)&

日期 2015-05-11   

比黄金贵十倍 天科合达碳化硅晶片产量全球第三

外观像透明玻璃,厚薄似一张纸,大小如一次性纸杯杯底——日前,记者在苏州天科合达蓝光半导体有限公司看到了该公司的产品:一片2英寸大的“碳化硅晶片”。可别小看这片圆圆的“小...

日期 2010-04-14   

碳化硅晶片国产化,指日可待

近日,天科合达蓝光控股主公司的G天富已经开始进入第三代半导体材料碳化硅晶片产业,成为全球碳化硅晶片的主要供应商。该公司碳化硅项目已于今年8月已经开工建设,预计明年4月建...

日期 2006-09-13   

物理所合作建立国内首条碳化硅晶片中试生产线

中科院物理研究所与北京天科合达蓝光半导体有限公司经过8个月的努力,合作研发出了具有自主知识产权的第二代碳化硅晶体生长炉,进一步优化了具有自主知识产权的碳化硅晶体生长工艺...

日期 2007-07-17   

我国首条碳化硅晶片试生产线建立

中科院物理研究所与北京天科合达蓝光半导体有限公司经过8个月的努力,合作研发出了具有自主知识产权的第二代碳化硅晶体生长炉,进一步优化了具有自主知识产权的碳化硅晶体生长工艺...

日期 2008-01-28   

天富热电子公司初具批量生产导电型碳化硅晶片能力

天富热电子公司天科合达初步具备批量生产2英寸6H/4H导电型碳化硅晶片的能力,截至目前,该产品还未有大批量的商业订单销售。此外,天科合达已开发非掺杂半绝缘碳化硅晶体生长...

日期 2009-02-23   
  共 8 条记录

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第六届磨料磨具磨削展览会暨2023金刚石产业大会

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2023年9月20日,时隔四年,期待已久的第六届磨料磨具磨削展览会在郑州国际会展中心隆重开幕。本次展览会由中国机械工业集团有限公司、国机精工股份有限公司、中国机械国际合作股份有限公司联合主办。旨在推动中国磨料磨具行业的快速发展,加强国内外企业的交流与合作。

中国人造金刚石诞生60周年

中国人造金刚石诞生60周年

1963年,我国成功研制出第一颗人造金刚石,经过几代人的拼搏奋斗,实现了从无到有、从小到大、从弱到强的华丽蝶变。人造金刚石及其制品在我国航空航天、国防军工、机床机械等领域发挥着愈发重要的作用。不仅如此,随着金刚石技术的选代,金刚石民用领域—培育钻石迎来了自己的大爆发,中国占据了世界培育钻石产量的80%以上,近几年在国际上产生了巨大影响力。