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       申请号: 201410750011.1
       申请日: 2014.12.10
       国家/省市: 中国江苏(32)
       公开号: 104551900A
       公开日: 2015.04.29
       主分类号: B24B 7/22(2006.01)
       分类号: B24B 7/22(2006.01); B24B 37/10(2012.01); B24B 29/02(2006.01); B24B 47/12(2006.01); C09G 1/02(2006.01)
       申请人: 盐城工学院
       发明人: 周海
       代理人: 杨海军
       代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司(32200)
       申请人地址: 江苏省盐城市希望大道9号

       摘要： 本发明公开了一种碳化硅晶片斜面磨削、研磨和抛光机及其操作方法，它包括依次连接的支撑片（1）、旋转轴（2）、驱动电机（3）、电机支架（4）、垂直转臂（5）、水平转臂（6）、滑架（7）、螺杆（9）相连，螺杆（9）的下端依次连接有第一圆锥齿轮（12）、第二圆锥齿轮（13）、调节轴（14）和转轮（15），支撑片（1）的下方安装有碳化硅晶片的处理工具（19）。本发明结构设计合理，操作方便，工作效率高，可对碳化硅晶片进行斜面磨削、研磨和抛光一体化处理，工作效率高，能够使抛光斜面的粗糙度＜0.1微米，加工精度高，适用性强。本发明处理方法，可用于平面圆形和非圆形碳化硅晶片的斜面磨削、研磨和抛光一体化加工处理。

       主权利要求 1.一种碳化硅晶片斜面磨削、研磨和抛光机，其特征在于：它包括支撑片（1）、与支撑片（1）相连的旋转轴（2），与旋转轴（2）相连的驱动电机（3），所述的驱动电机（3）安装在电机支架（4）上，电机支架（4）安装在垂直转臂（5）上，所述的垂直转臂（5）与水平转臂（6）相连，水平转臂（6）与滑架（7）相连，滑架（7）通过内衬套（8）套在螺杆（9）上，螺杆（9）的外周设有衬套筒（10），衬套筒（10）固定在立柱（11）上，螺杆（9）的下端与第一圆锥齿轮（12）相连，第一圆锥齿轮（12）与第二圆锥齿轮（13）相连，所述的第二圆锥齿轮（13）与调节轴（14）相连，调节轴（14）另一端与转轮（15）相连，所述的调节轴（14）外设有调节轴套筒（16），调节轴（14）和调节轴套筒（16）之间设有滚动轴承；所述的立柱（11）固定在上支撑座（17）上，上支撑座（17）焊接在下支撑座（18）上；所述的支撑片（1）的下方安装有碳化硅晶片的处理工具（19），处理工具（19）连接在轴（20）的上端，轴（20）的下端连接在电机（21）上，所述的处理工具（19）为砂轮、研磨盘或者抛光盘。