申请日: 2013.07.24
国家/省市: 日本(JP)
公开号: 104703759A
公开日: 2015.06.10
主分类号: B24B 57/00(2006.01)
分类号: B24B 57/00(2006.01); C02F 11/14(2006.01)
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
发明人: 永井佑树; 前泽明弘; 乾智惠
代理人: 张涛
代理机构: 11105
申请人地址: 日本东京都
优先权: JP2012-164821
摘要: 本发明从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中得到高纯度的再生研磨材料。研磨材料是选自氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆以及氧化锆中的至少一种,且经由下述工序A~D从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中再生研磨材料,即,回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A,该使用过的研磨材料是对主成分为硅的被研磨物3进行研磨得到的;调整回收得到的研磨材料浆料的pH使得pH为7~10的pH调整工序B;向调整过pH的研磨材料浆料中添加作为无机盐的含碱土金属元素的金属盐,使研磨材料凝聚,从母液分离研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序C;将分离浓缩了的研磨材料固液分离并回收的研磨材料回收工序D。
主权利要求 1.一种研磨材料再生方法,其从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中再生研磨材料,该使用过的研磨材料是对主成分为硅的被研磨物进行研磨而得到的,该研磨材料是选自下述研磨材料组中的至少一种,并且,该方法经由下述工序A~D再生研磨材料,工序A:回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A;工序B:调整该回收得到的研磨材料浆料的pH使得其换算成25℃下的pH为7~10的pH调整工序B;工序C:向该调整过pH的研磨材料浆料中添加作为无机盐的含碱土金属元素的金属盐,使研磨材料凝聚,从母液中分离出该研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序C;工序D:对该分离并浓缩后的研磨材料进行固液分离并进行回收的研磨材料回收工序D,研磨材料组:氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆、氧化锆。