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哈工大过滤阴极真空电弧薄膜沉积技术国内领先

关键词过滤阴极真空电弧薄膜沉积技术|2005-01-18 00:00:00|来源中国磨料磨具网

摘要 2005年1月7日，哈工大复合材料与结构研究所朱嘉琦博士等研究人员正在进行沉积非晶金刚石薄膜的实验。科研人员采用过滤阴极真空电弧和磁控溅射等工艺方法，制备高性能的非晶金刚石薄膜、不...

　　2005年1月7日，哈工大复合材料与结构研究所朱嘉琦博士等研究人员正在进行沉积非晶金刚石薄膜的实验。科研人员采用过滤阴极真空电弧和磁控溅射等工艺方法，制备高性能的非晶金刚石薄膜、不同掺杂的非晶金刚石薄膜以及其他先进功能薄膜材料,可广泛应用于声表面波器件、太阳能电池以及红外光学窗口等不同领域。

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