摘要 元素六,作为一家世界领先的人造金刚石和其它超硬材料的生产商和供应商,宣布了其在金刚石光学领域的全新技术研发成果——DiamondPureOptics。该全金刚石解决方案的灵感源自飞...
元素六,作为一家世界领先的人造金刚石和其它超硬材料的生产商和供应商,宣布了其在金刚石光学领域的全新技术研发成果——Diamond PureOptics。该全金刚石解决方案的灵感源自飞蛾眼睛的抗反射结构,可为高功率CO2激光系统提供更高的可靠性和更高的功率密度。金刚石光学窗口通常包含抗反射薄膜,以最大程度地减少反射损耗,同时增大激光输出功率。然而,这些薄膜的力学性能和热性能远不及金刚石本身固有的性能,这导致当光学功率密度增加时,其热、力性能损耗也同时增加。
元素六采用金刚石结构表面取代了这些薄膜,以降低反射损耗。Diamond PureOptics技术完美适用于极紫外光(EUV)应用,其激光损伤阈值远高于抗反射(AR)膜制窗口(相当于10倍),而发射率(低于0.5%)和传输率(高于99%)与其相当。 适用于10.6微米波长的Diamond PureOptics光学窗口经过设计、制造和实地试验,现已备妥待售。元素六公司也正在研发适用于其它波长的Diamond PureOptics解决方案。