摘要 原理:利用超短脉冲/连续激光聚焦能量,使金刚石表面局部熔化、蒸发或发生相变(如石墨化),通过材料重排或气化降低粗糙度。特点:非接触、高空间分辨率(微米级聚焦),适合三维复杂表面处理...
原理:
利用超短脉冲/连续激光聚焦能量,使金刚石表面局部熔化、蒸发或发生相变(如石墨化),通过材料重排或气化降低粗糙度。
特点:
非接触、高空间分辨率(微米级聚焦),适合三维复杂表面处理;
热影响区易导致微裂纹或残余应力,需精确控制激光参数(波长、脉宽、功率);
适用于微纳器件局部修形或超硬涂层抛光。