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NipponSteel碳化硅晶圆技术突破4寸晶圆

关键词 碳化硅|2007-06-23 00:00:00|来源 中国磨料磨具网
摘要 据Reed-electronics网站报道,NipponSteelCorp.(日本新日铁)日前表示,公司已开发出生产下一代半导体晶圆的技术,预计该技术将提高家电产品和汽车的能源效率...
据Reed-electronics网站报道,Nippon Steel Corp.(日本新日铁)日前表示,公司已开发出生产下一代半导体晶圆的技术,预计该技术将提高家电产品和汽车的能源效率。
  
  据称,该公司新开发出的碳化硅(SiC)晶圆能够承受比普通硅晶圆高10倍的电压,热导率也要高出3倍。
  
  碳化硅化和物是在2,400摄氏度甚至更高的温度下通过材料再结晶制备的。由于质量控制难度较高,当前还只能生产直径为2至3寸的SiC晶圆,主要用于科研。
  
  Nippon Steel表示其在温度控制等方面取得的技术突破使得生产4寸SiC晶圆成为可能,这一尺寸的晶圆已可用于实际的半导体生产线。
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