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申请号: 201621040511.7
主分类号: C23C 16/32(2006.01)
申请人: 江苏协鑫特种材料科技有限公司
发明人: 蒋文武; 蒋立民; 田新; 于伟华; 张春伟
摘要：
       本实用新型提供了一种石墨表面沉积碳化硅的装置系统，包括净化第一工位和反应第一工位，其中，所述净化第一工位安装有石墨净化炉，所述反应第一工位安装有CVD反应炉，石墨净化炉和CVD反应炉均为上固定结构，即所述石墨净化炉的炉筒和CVD反应炉的炉筒分别通过支架固定在地面上，石墨净化炉的炉底盘和CVD反应炉的炉底盘分别坐落在一升降台上，升降台通过上升使得炉筒和炉底盘紧密配合。 主权利要求：
       1.一种石墨表面沉积碳化硅的装置系统，其特征在于，包括净化第一工位(1)和反应第一工位(2)，所述净化第一工位(1)安装有石墨净化炉(3)，所述反应第一工位(2)安装有CVD反应炉(5)，石墨净化炉(3)和CVD反应炉(5)均为上固定结构，即所述石墨净化炉(3)的炉筒和CVD反应炉(5)的炉筒分别通过支架固定在地面上，石墨净化炉(3)的炉底盘和CVD反应炉(5)的炉底盘分别设置在一升降台上，石墨净化炉(3)的炉底盘的升降台通过上升使得石墨净化炉(3)的炉筒和炉底盘紧密配合，CVD反应炉(5)的炉底盘的升降台通过上升使得CVD反应炉(5)的炉筒和炉底盘紧密配合。