摘要:本发明公开了一种碳化硅纳米纸传感器,该传感器为电阻型传感器,其包括基材、碳化硅纳米纸和两个导电电极,基材表面覆盖有碳化硅纳米纸,导电电极与碳化硅纳米纸紧密结合在基材表面,导电电极之间的间隙连续铺覆有碳化硅纳米纸;其制备方法包括:将碳化硅纳米线置于一基材上,利用有机溶剂辅助压缩法将碳化硅纳米线压缩为碳化硅纳米纸,再将基材置于真空环境中,利用真空溅射法通过掩膜在基材上沉积导电电极即得到传感器。本发明的传感器可通过导线接入一闭合电路中形成一湿度计,以测量环境相对湿度,具有耐高温、抗氧化、抗腐蚀、高灵敏度、且多选择性等优点。
申请人: 中国人民解放军国防科学技术大学
地址: 410073 湖南省长沙市德雅路109号中国人民解放军国防科学技术大学理学院
发明(设计)人: 李公义 马军 李义和 胡天娇 彭刚 李效东
主分类号: G01N27/04(2006.01)I
分类号: G01N27/04(2006.01)I