1、CMP抛光垫是实现平坦化抛光的核心要件之一
根据观研报告网发布的《中国CMP抛光垫行业发展趋势分析与未来投资预测报告(2024-2031年)》显示,在晶圆进行化学机械抛光过程中,CMP抛光垫的作用主要有:存储CMP抛光液及输送 CMP 抛光液至抛光区域,使抛光持续均匀的进行,之后去除所需的机械负荷,并将抛光过程中产生的副产品(氧化产物、抛光碎屑等)带出抛光区域,形成一定厚度的CMP抛光液层,为抛光过程中化学反应和机械去除提供场所。CMP抛光垫通过影响抛光液的流动和分布,决定抛光效率和表面平坦性,对实现晶圆平坦化至关重要。
2、CMP材料需求量大幅提升,我国CMP抛光垫市场规模逐年上升
受益于3D NAND及先进制程工艺快速发展,CMP材料需求量大幅提升,推动CMP抛光垫市场规模逐年上升。根据数据显示,2021年全球抛光垫市场规模达到11.3亿美元,同比增长10.78%,2016-2021年CARG为11.69%。同期,中国抛光垫市场规模也在持续增长,2016-2021年市场规模由8.1亿元提升至13.1亿元,并且随着国内晶圆厂持续扩产扩建,需求增速明显高于全球平均增速水平。
3、CMP抛光垫具有较高壁垒,陶氏杜邦一家独大
抛光垫具有较高的技术、人才和专利壁垒,开发需要结合有机、高分子、才来科学、粉体技术、精密加工等学科,技术难度高。目前,我国抛光垫专利集中于应用领域,侧重研究如何改进抛光垫沟槽设计以及改善抛光方法和抛光效果,在抛光垫的制作方法及材料方面专利很少。
抛光垫产品大致分为硬垫和软垫两种,硬垫不同的技术节点对于抛光垫的变化较小,所以龙头公司容易保持产品的一致性与稳定性。目前,全球CMP抛光垫市场杜邦公司市占率高达79%,行业呈现一家独大的格局。
4、鼎龙股份实现抛光垫领域突破,国产企业破茧而出
不过,鼎龙股份攻坚克难,成为国内唯一一家全面掌握抛光垫全流程核心研发和制造技术的CMP抛光垫国产供应商,实现中国抛光垫领域从零到一的突破,国产企业破茧而出。