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河南黄河旋风股份有限公司碳化硅切割专用金刚线研制成功并投放市场

关键词 碳化硅 , 金刚线|2022-09-28 09:54:28|来源 黄河旋风
摘要 近日,河南黄河旋风股份有限公司碳化硅切割专用金刚线锯研发取得突破,经多家客户使用,其产品性能已完全达到甚至超过日本同类产品水平,不论在切割效率、切割质量还是切割稳定性,均全面优于现...

       近日,河南黄河旋风股份有限公司碳化硅切割专用金刚线锯研发取得突破,经多家客户使用,其产品性能已完全达到甚至超过日本同类产品水平,不论在切割效率、切割质量还是切割稳定性,均全面优于现有砂浆切割水平。

       近年来,以氮化镓、碳化硅为代表的第三代半导体产业发展迅猛,国家高度重视,企业积极布局,整个行业呈现爆发式的增长势头。碳化硅材料作为第三代半导体之一,具有优异的性能,同时也具有难加工的特点,其超高的硬脆性特点导致加工难度大、风险高、效率低、良品率不高,尤以切割为难点。目前市场上主要以金刚石砂浆切割为主,切割速度慢,效率低,砂浆利用率低,成本居高不下,砂浆用微粉供应已达极限,固结金刚线替代砂浆切割已成必然趋势。

       目前市场上能够稳定供应的碳化硅切割线仅有日本某企业,在美日等国对我国芯片行业打压的大背景下,碳化硅切割金刚线的国产化就特别迫切。然而碳化硅晶圆价值高,要求切割低风险、高质量,对金刚线的质量要求就极为严苛。

       黄河旋风作为超硬材料龙头企业,充分发挥全产业链覆盖的优势,多部门协同研发,利用其从日本住友引进吸收的金刚线设备和技术,深入开展金刚石线锯对碳化硅的切割机理研究,重点对切割中金刚石的失效机理进行深入挖掘,适配了专用金刚石及微粉,确保了该产品优异的切割能力以及材料、产品质量的稳定性。

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       黄河旋风碳化硅切割专用金刚线线径均匀、线丝圆度好、磨料分布均匀、出刃高。

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       在6英寸绝缘型及导电型碳化硅晶体的切割过程中,线弓小、无断线,切割后晶面平整无线纹,切割用线量介于500-800m/片。

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       经多家客户的切割使用验证,切割后线径磨损均匀,均取得稳定的切割数据,且可获得同等于砂浆切割的晶片质量,可大幅提升切割效率降低生产成本。

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