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美企业新专利超越碳化硅材料

关键词美企业，专利，碳化硅，材料|2008-12-05 00:00:00|来源中国磨料磨具网

摘要位于美国加利福亚州桑尼维尔的IntegratedMaterials,Inc.公司拥有SiFusion™专利技术，IntegratedMaterials独特的SiFusion™多晶硅...

　　位于美国加利福亚州桑尼维尔的Integrated Materials, Inc.公司拥有SiFusion™专利技术，Integrated Materials独特的SiFusion™多晶硅炉系列能够减少LPCVD中的粒子数、痕量金属污染物和高温工艺中的错误，从而超越了传统的石英和碳化硅材料。SiFusion™炉通过大幅减少例行清洗次数，提高了生产效率，降低了成本。
　　
　　
　　
　　
　　来源:锯工业网
　　

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