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碳化硅专家Obermeier教授受聘清华客座教授

关键词 碳化硅|2007-09-28 00:00:00|来源 中国磨料磨具网
摘要 9月25日下午,德国柏林工业大学Obermeier教授接受聘请,成为清华大学客座教授。聘请仪式在精仪系会议室举行。副校长谢维和出席了聘请仪式并为Obermeier教授颁发了聘书。O...
9月25日下午,德国柏林工业大学Obermeier教授接受聘请,成为清华大学客座教授。
  聘请仪式在精仪系会议室举行。副校长谢维和出席了聘请仪式并为Obermeier教授颁发了聘书。
  Obermeier教授长期以来致力于推动和发展柏林工业大学与清华大学的合作。在他的建议和支持下,从2006年起,两校开展了联合培养精仪系本科“微机电系统工程”学生的项目,柏林工业大学每年8月接收清华10名本科生去Obermeier教授的实验室进行为期一个月的MEMS工艺实习,Obermeier教授本人也已经连续两年来清华讲授“MEMS加工技术”课程。此次Obermeier教授来校还将和清华进一步发展柏林工业大学-清华大学联合培养双学位硕士生的项目。
  精仪系系主任尤政教授主持了仪式,副系主任王伯雄教授介绍了Obermeier教授的学术成就。出席聘请仪式的还有德国柏林工业大学国际处、清华大学国际合作与处、精仪系相关负责人。
  随后,Obermeier教授作了题为“MEMS at the Technical University of Berlin”的报告。(精仪系 供稿 编辑 李含 襄桦)
  附:Obermeier教授简介
  Pro.Obermeier1977年毕业于慕尼黑工业大学电气工程系,获工学博士学位。其后加入德国慕尼黑夫琅和费研究协会,从事硅传感器和多晶硅工艺的研究。1988年被聘为柏林工业大学电气工程系教授,微传感器和执行器技术研究所主任。为微型传感器和执行器领域著名专家学者,尤其在硅和碳化硅工艺、微传感器和微执行器、MEMS技术、微加工和微键合技术等方面有突出贡献。任IEEE / ASME Journal of Microelectromechanical Systems (JMEMS)编委。多次担任两年一次在世界举行的传感器国际会议项目委员会的主席,国际会议 Transducers 01 in Munich的总主席,欧洲MME研讨会年会的发起人之一。主要研究领域有:硅和碳化硅工艺,微传感器和微执行器,MEMS技术,空气MEMS(Aero MEMS),微加工和微键合技术等。曾经以他在多晶硅微压力传感器方面的杰出贡献于1988年获Schlumberger Stitching (施伦贝谢。史蒂清)奖。主要著作有:Sensortechnik Handbuch fuer Praxis und Wissenschaft(传感器实践与科学手册)等。在国内杂志上发表论文300余篇,发明专利17项。
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