近日,浙江省经济和信息化厅公开了《浙江省重点新材料首批次应用示范指导目录(2024年版)》,分为先进基础材料、关键战略材料、前沿新材料三大类共计329种重点新材料。其中,将聚晶金刚石刀片及刀具、大尺寸高品质金刚石单晶材料列为先进基础材料,芯片导热用单晶金刚石晶圆列为关键战略材料,具体性能要求如下:
聚晶金刚石片及刀具
性能要求:
(1)石油钻探用聚晶金刚石复合片:磨削磨耗比≥5.9×105,抗冲击性≥1350J,密度>3.90g/cm3,克努普(Knoop)显微硬度 50~60GPa。
(2)高端切削刀具加工用聚晶金刚石复合片:硬度≥8000HV,磨耗比>100000,显微硬度>6000kg/mm2,耐热温度>700℃。刀具:采用钢体柄部硬度≥HRC45,采用硬质合金基体硬度≥HRA89,切削刃径向圆跳动≤0.01mm,切削刃表面粗糙度 Ra0.4μm。
应用领域:航空、国防、风能、汽车、石油页岩气钻探、高端切削刀具加工行业
大尺寸、高品质金刚石单晶材料
性能要求:毫米尺度金刚石大单晶,尺寸≥10×10 mm,主杂质 N 含量<1ppm,断裂强度>1000MPa。介质损耗<10-5。
应用领域:电子、导航、刀具产业
芯片导热用单晶金刚石晶圆
性能要求:热导率≥2000W/m·K,表面粗糙度 Ra<1nm,尺寸≥2 英寸。
应用领域:集成电路