抛光垫被广泛称之为抛光皮、抛光布或抛光片,这是因为它是在化学机械抛光工艺中对于决定表面质量起到关键性辅助作用的极其关键的原料之一,抛光垫最主要的职责包括存储和输送抛光液、有效清除磨削产物以及确保稳定的抛光作业环境等。
2018-2023年中国抛光垫需求量及增速
资料来源:共研产业咨询(共研网)
抛光液在化学机械抛光作业过程中,能够使得晶圆表面形成一层氧化膜,然后借助于抛光液中的研磨颗粒将其消除,进而实现抛光的最终目标。至于洗涤液,则主要承担着去除残留在晶圆表面的各类微小颗粒物质(包括灰尘颗粒、有机污染物、无机污染物、金属离子以及氧化物等)的重任。
2018-2023年中国抛光垫价格
资料来源:共研产业咨询(共研网)
双面化学机械抛光相较于单面抛光,显著提高了整体与局部平面精度及生产效率,针对双面化学机械抛光,研究抛光垫性能优化方法、揭示磨损特性以及创新修整策略都具有重要意义,预计2023年中国抛光垫市场规模同比增长14.5%。
2018-2023年中国抛光垫市场规模及增速
资料来源:共研产业咨询(共研网)
国内的领军企业——鼎龙股份,已经取得了重大技术创新,成功掌握 CMP 抛光垫全贯通的核心技术,成为最早打破国外巨头垄断、成功进入到国内主要芯片加工制造企业供应链体系的中国本土公司之一。
2018-2022年中国鼎龙股份营业收入及毛利润
资料来源:公司年报、共研产业咨询(共研网)
鼎龙股份有望从中获得双重收益,即二元市场的改革红利,攻克现有国粹市普垫份额,以及借助内资芯片制造商的扩大生产带来的增长潜力及机遇。
2018-2022年鼎龙股份毛利率及净利率
资料来源:公司年报、共研产业咨询(共研网)