高压碳化硅电力电子器件关键设备工艺获批863前沿技术项目_资讯_磨料磨具网

高压碳化硅电力电子器件关键设备工艺获批863前沿技术项目

关键词碳化硅 , 电子电力 , 863|2013-09-02 09:58:39|来源中国磨料磨具网

摘要近日，由中国电子科技集团48所、2所、55所共同申请的国家科技部“863”前沿技术项目已获批，该项目的主要目的是为高压碳化硅电力电子器件的制造提供关键设备和工艺，其中包括4-6寸碳...

近日，由中国电子科技集团48所、2所、55所共同申请的国家科技部“863”前沿技术项目已获批，该项目的主要目的是为高压碳化硅电力电子器件的制造提供关键设备和工艺，其中包括4-6寸碳化硅单晶生长炉、碳化硅外延生长炉和碳化硅高温高能离子注入机的研发。

当前正值我国大力开展科技创新推动产业转型升级的新时期，碳化硅制造设备已被列入国家《新材料产业“十二五”发展规划》重点产品目录，碳化硅材料和器件的科研也已纳入电力电子行业“十二五”规划。

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