摘要 近三年,国产太阳能硅单晶生长设备的销售量直线上升,从2004年的8000万元到2006年3.5亿元。目前,我国市场上有各类硅单晶生长设备1500余台,分布在70余家生产企业。主要产...
近三年,国产太阳能硅单晶生长设备的销售量直线上升,从2004年的8000万元到2006年3.5亿元。目前,我国市场上有各类硅单晶生长设备 1500余台,分布在70余家生产企业。主要产品规格有DRXF-85型、TDR-80型、JRDL-800型、CZ-600型、CG6000型、FT- CZ1860型等;90%以上的设备用于太阳能硅单晶的生产,其中有1400余台能够使用16英寸热系统投料45千克生长6英寸太阳能硅单晶,1000余台能够使用18英寸热系统投料60千克生长8英寸硅单晶的能力,只有200多台可以使用20英寸热系统投料80千克—90千克比较经济地生长8英寸的太阳能硅单晶。国产设备大部分是以半自动为主,只能实现等径生长、收尾等过程的自动控制,仍没有实现真空获得、加热熔化、引晶放肩、等径生长、收尾等全过程自动控制。不过,经过多年的研究与经验积累,国产设备的等径生长控制技术比较成熟,基本能控制在±1mm左右;随着太阳能硅单晶生长设备市场需求的不断扩大,有多家单位也涉足了太阳能硅单晶生长设备制造的行列,生产规模在逐渐形成,目前,国内已有十余个硅单晶生长设备生产厂家,但主要的有六七家,2006年,生产销售6英寸到8英寸太阳能硅单晶生长设备已超过500台。
国内太阳能硅单晶生长设备生产单位具有较强的市场意识,机制灵活,反应快,有成熟的硅单晶生长工艺技术等优势。这就使得硅单晶生长设备的推广应用更加容易。凭借我国太阳能硅单晶生长设备研制生产单位的开发制造技术水平的提高以及和成熟的太阳能生长技术,常州华盛天龙机械有限公司、北京京仪世纪科技有限公司等单位研制的硅单晶生长设备已实现批量出口,并得到了外商的好评。