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　　4月25日，山东省发改委组织专家对山东禹王实业有限公司承建的单晶硅外延基座研发及产业化项目进行了验收。与会专家听取了项目工作、技术、财务等总结报告，察看了项目现场，一致认为该项目完成了批复文件规定的建设内容，同意通过验收。

　　该项目于2009年3月份被国家发改委批复为电子信息产业振兴和技术改造项目。项目批复总投资5554万元，其中，中央预算内投资350万元，银行贷款3000万元，企业自筹2204万元。
　　项目新增建筑面积11280平方米；购置设备326台（套），建设了4条CVD生产线，形成了年产单晶硅外延用和氮化镓外延用碳化硅涂层石墨基座21000套的能力。
　　该项目突破了石墨基座碳化硅涂层的化学气相沉积技术，建成了目前国内直径最大的碳化硅沉积炉，能够进行直径850mm大尺寸基座的生产，打破了国外垄断，填补了国内空白，获国家发明专利1项。
　　通过本项目的实施，将填补我国微电子、光电子半导体外延材料生产所需特种陶瓷基座的空白，替代进口，解决此类产品的供给难题，实现半导体生产中关键易耗部件的国产化。同时解决硅单晶外延生长中粘附工件与台面的技术难题，为我国硅单晶外延片向大直径、多片基发展提供设备支撑，这对我国微、光电子半导体产业将产生显著的带动作用。