申请日: 2015.08.14
国家/省市: 中国福建(35)
公开号: 105043303A
公开日: 2015.11.11
主分类号: G01B 11/25(2006.01)
分类号: G01B 11/25(2006.01)
申请人: 华侨大学
发明人: 余卿; 崔长彩; 易定容; 章明; 孔令华; 叶瑞芳; 范伟; 王寅; 李煌; 张勇贞
代理人: 陈智海
代理机构: 35205
申请人地址: 福建省泉州市丰泽区城东华侨大学
摘要: 本发明公开了一种用于砂轮表面形貌的检测方法与系统,其系统包括沿光源发出光束的光路上依次设置的准直透镜、数字微镜器件、分光镜和色散透镜;待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置,并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动,以及绕着此固定轴做旋转运动。本发明将数字微镜器件作为线型光源,结合色散透镜产生线型色散光,可同时对待测砂轮表面上的多点进行垂直于光轴方向的横向扫描,结合待测砂轮绕固定轴的旋转运动,在无需沿光轴方向做纵向扫描的前提下获得整个待测砂轮表面的三维几何量信息。从而可很好地表征待测砂轮表面的三维信息,并极大地提高了针对砂轮表面形貌的测量效率。
主权利要求 1.一种用于砂轮表面形貌的检测系统,其特征在于:沿光源发出光束的光路上依次设置准直透镜和数字微镜器件,且经准直透镜准直的光束与数字微镜器件的表面呈66°入射,此光束在垂直于数字微镜器件的表面的方向反射;经数字微镜器件反射的光束的光路上依次设置分光镜和色散透镜;待测砂轮对应于色散透镜的出射侧设置,并在垂直于光轴的方向的一固定轴上做一维横向移动,以及绕着此固定轴做旋转运动。